真空技術資料
| 2-1 |
JISフランジ規格
|
| 2-2 |
ISO-KF・LFフランジ規格 |
| 2-3 |
ICFフランジ規格 |
【 III 】真空部品材料と選定方法
| 3-1 |
ステンレス（種類）（特徴）（処理）
|
| 3-2 |
アルミ（種類）（特徴）（処理）
|
| 3-3 |
銅（種類）（特徴）（処理）
|
| 3-4 |
セラミックス＆ガラス（種類）（特徴）（処理） |
| 3-5 |
樹脂＆ゴム（種類）（特徴）
|
| 3-6 |
Oリング（種類）（選定）
|
| 3-7 |
材料の融点・分子量と水の飽和蒸気圧
|
【 IV 】リークチェック方法
| 4-1 |
リーク原因
|
| 4-2 |
リーク場所の探し方
|
| 4-3 |
リークの修復方法
|
| 4-4 |
その他のリークチェック
|
【 V 】こうゆうことしたい時辞典
| 5-1 |
真空を早く引きたい |
| 5-2 |
到達真空をもっと良くしたい
|
| 5-3 |
加熱したい
|
| 5-4 |
冷却したい
|
| 5-5 |
装置をコンパクトにしたい
|
| 5-6 |
試料作製・分析まとめてたくさん処理したい |
| 5-7 |
こんな材料使いたい |
| 5-8 |
いろんな表面処理したい |
| 5-9 |
使い勝手を良くしたい |
【 VI 】真空部品・機器トラブル解決辞典
| 6-1 |
真空の引きが悪い |
| 6-2 |
真空駆動部の動きが悪い |
| 6-3 |
電気絶縁不良起こしてる |
| 6-4 |
オイルバック・水漏れ起こした |
| 6-5 |
部品が壊れた |
.
