技術資料

真空技術資料 

【 I 】真空単位

1-1 絶対圧とゲージ圧

絶対圧 → 現実には有り得ない完全な真空を基準として圧力が高くなると数値が増す単位
ケージ圧 → 大気圧を中心に大気圧以上を+大気圧以下を-として+は無限で-は真空までの単位

注意)
ゲージ圧の基準である大気圧は時間と場所で変動するため正確な比較はできない。
そのため標準大気圧時のみ換算可能となる。

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1-2 単位換算

真空の圧力はPaを用いることがISOで定められた国際単位
1Pa=1N/m2 標準大気圧 1atm = 101325Pa = 760Torr

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1-3 ガス流量と排気量

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1-4 排気速度とコンダクタンス

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1-5 温度

K:ケルビン (K=℃+273.15℃:セルシウス度(1℃=1K) F:ファーレンハイト度(℃×1.8+32)

【温度換算表】

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