装置事例(設計開発)
PVD装置
分析・測定装置
脱気装置
.
受託製造事例
300φメタライゼーション
凍結真空乾燥装置
有機ELディスプレイ製造装置
真空排気セット
ドライエッチャー
有機薄膜形成装置
エッチング装置
エッチング装置
CMD装置
有機ELパネル製造装置
蒸着装置
凍結真空乾燥装置
.
配管設計事例
.
加工部品事例
丸型チャンバー
角型チャンバー
.
.
.