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最新の相談（質問）と回答集
相談・質問
１．チャンバが漏れているかどうかの判断はどのようにすれば良いでしょうか？
また、漏れている箇所を特定するにはどうしますか？
３．真空装置に使用する材料はどのようなものを使用すればよいのでしょうか？
回答
１．チャンバが漏れているかどうかの判断はどのようにすれば良いでしょうか？
また、漏れている箇所を特定するにはどうしますか？
ヘリウムリークディテクターでリークチェックを行うのが一番良い方法ですが漏れているかの判断は、排気時間、到達圧力、圧力試験等でも確認できます。
但し、上記の方法は予め、測定データを持っていることが必要ですし、条件によりかなり異なる為、判断は難しいこともあります。
また、リーク箇所の確認もヘリウムリークディテクターが確実ですが、ヘリウムリークディテクターがない場合には下記の方法も考えられます。
漏れ量が非常に少なく電離真空計の領域であれば、アルコール等を漏れていそうな箇所のかけたり窒素等をリーク箇所に勢いよく吹きかけたりして圧力上昇で確認する。
漏れ量が非常に大きくヘリウムリークディテクターを使用できない場合はあまり良い方法がありません、昔はガイスラー管という真空計があり放電の色で判別することが可能でしたが、現在はほとんど使われておらずこれに変わるものはなかなかありません、原始的ですが意外と漏れるときのシューという音でみつけたり、もれていそうなところをテープ等で塞いだりして見つけられることが結構あるものです。
２．真空装置の到達圧力はどのような条件できまりますか？
油回転ポンプ、ドライポンプ、スクロールポンプ等のポンプ単独の装置では、ポンプの到達圧力（性能）にほぼ依存します。
ターボ分子ポンプやクライオポンプなどの高真空ポンプを併用する場合にはポンプの到達圧力に依存はしますが、ポンプの排気速度、真空装置側の放出ガス量に大きく依存するようになります。
放出ガスの大半は水ですが、放出量はなかなか減衰せず、圧力は除々に平衡状態になります。
さらに低い圧力まで下げたい場合は、水素やヘリウムなど特定のポンプでは排気できないこともあり複数のポンプで排気する必要がでてきます。
３．真空装置に使用する材料はどのようなものを使用すればよいのでしょうか？
真空装置でこの材料は使ってよいが、この材料はダメということではなく装置の圧力条件、どのような装置かできまります。
材料選定の条件はいろいろあります、たとえば価格、強度、耐熱性、重量等一般の装置で必要な条件はかわりませんが、真空にかぎっていえば大きく２つの条件があります。
１つ目の条件は圧力が低い装置の場合、材料からの放出ガス量が少ないものを選ぶことです。金属でいえばステンレス、アルミ等が一般的ですが、表面処理等でもかなり違ってきます。
樹脂や、ゴム製品等は金属に比べ放出ガス量は非常に大きく、透過等の問題も発生します。
二つ目の条件は、温度条件によりますが、蒸気圧の問題があります。たとえばヒータを真空中で使用する場合、圧力が低い時、大気圧のときよりも低い温度で材料は蒸発します。
たとえば富士山の頂上は約0.65気圧で水は90度で沸騰しますし、圧力が低くなればなるほど沸点は下がります。
真空装置の場合この２つの条件はいつも気にして下さい。
